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Forschung

EVAPORE

Entstehungsdetektion und Vermeidungsstrategien von Mikropartikeln in Plasmabeschichtungsprozessen für die optische Industrie

Mikrodefekte in funktionalen optischen und optoelektronischen Beschichtungen führen zu optischen Verlusten, reduzieren Filterfunktionen und die Laserzerstörfestigkeit von Optiken. Ziel des Projekts EVAPORE war die verbesserte Beherrschung der Defektbildung in Beschichtungsprozessketten für optische Anwendungen durch das vertiefte Verständnis von Entstehungsmechanismen, Eigenschaften und Wirkmechanismen der Defekte. Hierzu sollten Partikelbildung und -bewegung simuliert und messtechnisch erfasst werden. Eine strategische Optimierung von Prozessparametern und Quellendesigns sollte zu reduzierten Partikelbelastungen führen.

IGF-Projekt: 18590 N

Laufzeit: 01.08.2016 - 30.06.2019

EVAPORE

Beteiligte Forschungseinrichtungen

  • Laser Zentrum Hannover e. V., Hannover
  • Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST, Braunschweig

Eingebundene Unternehmen
(Projektbegleitender Ausschuss, "PA")

  • Blösch AG KMU
  • Bühler Alzenau GmbH
  • FISBA AG KMU
  • LASER COMPONENTS Germany GmbH KMU
  • Leica Microsystems GmbH
  • Merck KGaA
  • NANEO Precision IBS Coatings GmbH KMU
  • POG Präzisionsoptik Gera GmbH KMU
  • Qioptiq Photonics GmbH & Co. KG
  • Rodenstock GmbH
  • robeko GmbH & Co. KG KMU
  • Sindlhauser Materials GmbH KMU

Von diesen beteiligten sich die Unternehmen Blösch AG, Bühler Alzenau GmbH, FISBA AG, LASER COMPONENTS Germany GmbH, Leica Microsystems GmbH, Merck KGaA, NANEO Precision IBS Coatings GmbH und robeko GmbH & Co. KG an der Deckung der auf freiwilliger Basis durch die Wirtschaft zu tragenden Administrationskosten. Die F.O.M. bedankt sich im Namen der begleitenden Branchen.

 

BMWi-Förderung

  • Das IGF-Vorhaben Nr. 18590 N der Forschungsvereinigung Feinmechanik, Optik und Medizintechnik wurde im Rahmen des Programms zur Förderung der Industriellen Gemeinschaftsforschung (IGF) vom Bundesministerium für Wirtschaft und Energie aufgrund eines Beschlusses des Deutschen Bundestages gefördert.
  • Fördersumme: 467.450 EUR

Vorhabensbeschreibung

Wissenschaftliche Publikationen

  • Schulz P,Pflug A, Kricheldorf H-U. Simulation of Microparticle Motion and Contamination in Plasma Coating Systems, Journal of Vacuum Science & Technology B 38, 2020, 022203 DOI: 10.1116/1.5130720
  • Rüsseler AK, Balasa I, Kricheldorf H-U, Vergöhl M, Jensen L, Ristau D. Time resolved detection of particle contamination during thin film deposition, 2018, Proc. SPIE 106910H. DOI: 10.1117/12.2309918
  • Rüsseler AK, Balasa I, Jensen L, Ristau D. Continuous detection of particles on a rotating substrate during thin film deposition, 2018, Proc. SPIE 108051X. DOI: 10.1117/12.2500210

Abschließende Ergebnisse

Weitere Informationen für eingebundene PA-Unternehmen

  • Präsentationen und Protokolle der PA-Sitzungen:
    -  25.06.2019 (LASER World of PHOTONICS Messe, München)
    -  24.10.2018 (Qioptiq Photonics GmbH & Co. KG, Göttingen)
    -  17.10.2017 (Laser Components GmbH, Olching)
    -  17.03.2017 (Fraunhofer IST, Braunschweig)
    -  28.09.2016 (Laser Zentrum, Hannover)
  • Zwischenberichte:
    -  Zwischenbericht für 2018
    -  Zwischenbericht für 2017
    -  Zwischenbericht für 2016
  • Posterpräsentationen:
    -  Poster F.O.M.-Konferenz 2018
    -  Poster 1 BMWi-Innovationstag Mittelstand 2018
    -  Poster 2 BMWi-Innovationstag Mittelstand 2018
    -  Simulation BMWi-Innovationstag Mittelstand 2018
    -  Poster F.O.M.-Konferenz 2017
    -  Poster F.O.M.-Konferenz 2016
  • Detaillierter Abschlussbericht

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